Machine learning for in-situ composition mapping in a self-driving magnetron sputtering system
机器学习用于自驱动磁控溅射系统的原位成分映射
机构 * Materials Science and Engineering, Uppsala University(材料科学与工程,乌普萨拉大学) ; Computer Science, RISE Research Institutes of Sweden(计算机科学,瑞典RISE研究机构) ; Information Technology, Uppsala University(信息技术,乌普萨拉大学) ; Physics and Astronomy, Uppsala University(物理学和天文学,乌普萨拉大学)
专题命中 规划控制 :self-driving(title,abstract)
AI总结 本研究提出了一种基于机器学习的自驱动磁控溅射系统,通过原位传感器和高斯过程主动学习,快速生成多元素薄膜的成分分布图,提高材料探索效率。
Comments 24 pages, 10 figures. Submitted to the journal npj computational materials