Failure-Aware Refinement of Vision-Language Model for Lithography Defect Detection
面向光刻缺陷检测的视觉-语言模型失败感知精炼
机构 * Hanyang University(汉阳大学) ; Korea University(高丽大学) ; Korea Institute of Industrial Technology(韩国生产技术研究院)
专题命中 视觉定位与Grounding :vision-language model(title);分类 cs.CV、cs.AI
AI总结 提出两阶段视觉-语言框架,先微调Qwen3-VL检测缺陷,再通过训练精炼模块修正第一阶段错误,提升检测可靠性。
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