多模态信息融合

SemiFA: An Agentic Multi-Modal Framework for Autonomous Semiconductor Failure Analysis Report Generation

SemiFA：一种用于自主半导体故障分析报告生成的代理多模态框架

Shivam Chand Kaushik

机构 * School of Artificial Intelligence and Data Engineering (SAIDE)（人工智能与数据工程学院） ； Indian Institute of Technology Jodhpur（印度理工学院贾尔普尔） 纠错

专题命中 音视频/视觉语言融合 ：multi-modal fusion(abstract)；分类 cs.CV、eess.IV

AI总结 SemiFA通过多代理语言图框架实现自主生成半导体故障分析报告，利用多模态数据融合提升根因分析精度，首次整合SECS/GEM设备 telemetry 进行自动化报告生成。

Comments 11 pages, 6 figures, 8 tables. Dataset available at https://huggingface.co/datasets/ShivamChand/SemiFA-930. Code available at https://github.com/Shivamckaushik/SemiFA